激光干涉儀的原理和說(shuō)明


             干涉儀是很廣泛的一類實(shí)驗(yàn)技術(shù)的總稱,其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅僅局限于光干涉儀。干涉儀在天文學(xué),光學(xué),工程測(cè)量,海洋學(xué),地震學(xué),波譜分析,量子物理實(shí)驗(yàn),遙感,雷達(dá)等等精密測(cè)量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。

激光干涉透射法檢測(cè)元件厚度差的原理

    在激光干涉儀進(jìn)行透射測(cè)量時(shí),激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過(guò)被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會(huì)形成干涉條紋,每個(gè)點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ+0.5λ時(shí),顯示為暗條紋;當(dāng)光程差為nλ+λ時(shí),顯示為亮條紋;所以,當(dāng)被檢元件的兩個(gè)面不完全平行,存在楔角時(shí),沿楔角方向,元件的厚度逐漸增大,相應(yīng)的光程差也逐漸變大,沿楔角方向就會(huì)產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大,條紋越密集。


檢測(cè)指標(biāo)的簡(jiǎn)單說(shuō)明:

    PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即最大值和最小值的差值。單位是λ(波長(zhǎng))。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上,就是被檢元件的厚度差。 

    RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square),單位是λ(波長(zhǎng)),這是一個(gè)統(tǒng)計(jì)值,RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對(duì)應(yīng)到干涉儀透射檢測(cè)上,RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好,高低起伏越少。

    TTV值條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn),與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。

    POWER值是測(cè)量物體上的最亮或最暗值。


速德瑞自主研發(fā)生產(chǎn)的激光干涉儀GBM01AGBM08A為更多用戶提供了便利,使更多使用者可以快速并準(zhǔn)確地檢測(cè)所需的數(shù)值;那么這兩款有哪些區(qū)別呢?請(qǐng)看以下對(duì)比參數(shù):

序號(hào)

名稱

GBM01A

GBM08A

1

測(cè)量原理

菲索干涉原理

菲索干涉原理

2

激光器

半導(dǎo)體激光器 635nm

半導(dǎo)體激光器 635nm 940nm

3

有效孔徑

6.5mm

16.5mm (允許同時(shí)管控8個(gè)孔)

4

標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度

0.05λ

0.05λ

5

面形值重復(fù)精度

PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片)

PV 0.06λ(標(biāo)準(zhǔn)片)

6

面形值量程

PV 0~3λ

PV 0~3λ

7

測(cè)試時(shí)間

PV測(cè)試:1秒;

條紋數(shù)測(cè)試:1秒內(nèi)

PV測(cè)試:1秒;

條紋數(shù)測(cè)試:1秒內(nèi)

8

夾具

9

軟件

PVmeter

PVmeter

10

電源

220V 60W

220V 60W

11

通訊接口

USB

USB

12

重量

25Kg

15Kg

13

自動(dòng)化接口

預(yù)留

預(yù)留



速德瑞激光干涉儀不僅自主研發(fā)了儀器,而且使用軟件也是我們研發(fā)的哦,我們的檢測(cè)界面也是應(yīng)有盡有,所要測(cè)的數(shù)據(jù)都經(jīng)過(guò)算法直接得出來(lái),而且還可以導(dǎo)出數(shù)據(jù)。

 





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